射頻超導(dǎo)腔的研制是粒子加速器領(lǐng)域一項(xiàng)重要技術(shù)創(chuàng)新。經(jīng)過(guò)多年研發(fā)、中試后，和超高裝（中山）科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“和超高裝”）于今年進(jìn)入射頻超導(dǎo)腔的產(chǎn)業(yè)化階段。近日，在中山市深中標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量研究中心的技術(shù)支持下，和超高裝（中山）科技有限公司發(fā)布國(guó)內(nèi)首個(gè)射頻超導(dǎo)腔的企業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，填補(bǔ)了該領(lǐng)域的空白。

從中試到產(chǎn)業(yè)化

站在一個(gè)長(zhǎng)約1米的小型圓柱形密封產(chǎn)品前，和超高裝生產(chǎn)車間負(fù)責(zé)人魯文哲告訴記者，這個(gè)產(chǎn)品的技術(shù)壁壘和市場(chǎng)壁壘都很高，國(guó)內(nèi)能提供超導(dǎo)加速腔加工的產(chǎn)能非常有限。據(jù)他介紹，和超高裝是目前國(guó)內(nèi)僅有的4個(gè)具備射頻超導(dǎo)腔產(chǎn)業(yè)化能力的企業(yè)，和超高裝新工廠年產(chǎn)射頻超導(dǎo)腔量可達(dá)300-500個(gè)，產(chǎn)量為國(guó)內(nèi)最大。

超導(dǎo)腔的研發(fā)和中試時(shí)間很長(zhǎng)，不同用途的科學(xué)加速器采用的超導(dǎo)加速腔個(gè)數(shù)從幾百只到上萬(wàn)只不等，它的研發(fā)與制造是一項(xiàng)涉及特種材料制造、精密機(jī)加工、精密焊接、特殊表面處理以及微波超導(dǎo)調(diào)測(cè)等綜合性硬核技術(shù)。比如，鈮材料，加工難度就非常大，而且價(jià)格高。

從中試到產(chǎn)業(yè)化的過(guò)程中，和超高裝走過(guò)了一段不同尋常的路。和超高裝成立于2017年10月，由哈工大知名教授創(chuàng)立，研發(fā)技術(shù)人員多來(lái)自我國(guó)焊接領(lǐng)域唯一的國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室——哈工大先進(jìn)焊接與鏈接實(shí)驗(yàn)室，團(tuán)隊(duì)曾研發(fā)出我國(guó)第一支純鈮 9-cell 超導(dǎo)加速腔制造工藝。

作為廣東省招商引資重點(diǎn)項(xiàng)目，和超高裝于2020年成功競(jìng)得中山三角鎮(zhèn)的工業(yè)用地，開(kāi)啟產(chǎn)業(yè)園建設(shè)。目前，該公司具備多型號(hào)超導(dǎo)加速腔的全流程生產(chǎn)能力。

魯文哲介紹，公司產(chǎn)品主要應(yīng)用于國(guó)家重大科研基礎(chǔ)設(shè)施和高端制造領(lǐng)域。公司以特種焊接技術(shù)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為核心，建立精密機(jī)加工技術(shù)、表面處理技術(shù)、真空電子束焊接技術(shù)、真空熱處理技術(shù)、高端器件設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)技術(shù)、定制工裝開(kāi)發(fā)技術(shù)六大技術(shù)平臺(tái)，為大型科學(xué)裝置、半導(dǎo)體設(shè)備、核電設(shè)備、航空航天設(shè)備等高端制造領(lǐng)域提供零部件精密加工解決方案，驅(qū)動(dòng)大國(guó)重器。

發(fā)布行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)聚焦更多新領(lǐng)域

據(jù)了解，此次和超高超發(fā)布的射頻超導(dǎo)腔企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定了射頻超導(dǎo)腔的分類、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)、技術(shù)要求、加工工藝、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存等各個(gè)環(huán)節(jié)，更有效保障超導(dǎo)腔的可靠性和穩(wěn)定性。同時(shí)，該標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布也填補(bǔ)行業(yè)發(fā)展的空白，為整個(gè)行業(yè)樹(shù)立了新的標(biāo)桿。

“項(xiàng)目是龍粵對(duì)口合作的重要成果之一，我們選擇中山主要是接近市場(chǎng)，大灣區(qū)多個(gè)城市布局了被稱為‘大科學(xué)裝置’的國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施，這為我們產(chǎn)品的研發(fā)、應(yīng)用提供了便利?！焙统哐b總經(jīng)理何琳說(shuō)。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，和超高裝形成了真空電子束焊接技術(shù)、金屬表面微納米處理技術(shù)、高端部零件加工技術(shù)等核心技術(shù)，其核心產(chǎn)品超導(dǎo)加速腔產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

電子束焊接技術(shù)是將高能電子束發(fā)出的動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能，用來(lái)轟擊工件接頭處的金屬，使其快速熔融，然后迅速冷卻達(dá)到焊接效果，具有不用焊條、不易氧化、工藝重復(fù)性好及熱變形量小的優(yōu)點(diǎn)，可以廣泛應(yīng)用于航空航天、核能及國(guó)防等行業(yè)?！罢婵针娮邮附有枰谡婵窄h(huán)境下實(shí)現(xiàn)這一操作，是最為先進(jìn)的焊接技術(shù)之一，超導(dǎo)加速腔就需要這種技術(shù)。未來(lái)，隨著高能物理、癌癥醫(yī)療、同步輻射光源、核廢料處理等重大科研設(shè)施的建設(shè)，超導(dǎo)加速腔的市場(chǎng)前景更加廣闊?！焙瘟照雇?。

編輯 曾淑花? ?二審 魏靜文? ?三審 陳浩勤